等离子体技术【九】--射频电源的技术功能

一、CEX 相位同步

　　CEX是多数射频电源的功能之一，它可减轻串扰，并消除与之相关的问题。通常又叫相位同步。该功能可与系统上的所有电源相匹配，与其波形相吻合,从而使所有的阴极始终处于同相状态 。

　　下图显示了在没有使用CEX时会出现的阴极之间的串扰，并产生波形的电位差。（摘自AE官网）

　　如AE公司采用的Arc Synch技术，可消除因靶材串扰造成的电弧放电现象。电弧同步可与一个系统中的所有电源相匹配，从而使得所有部件对电弧作出反应，即使只有一个部件感测到了电弧。如果没有电弧同步,那么只有那个感测到电弧的部件可对此作出反应,而其它所有电源则继续照常运行。这会导致这些阴极相互干扰,从而导致基板电弧放电、基板和靶材损坏、以及可能出现的最终电源损坏。有了电弧同步,当感测到电弧时,所有系统电源的同时响应可以消灭该电弧,从而防止阴极再燃烧和消弧导致阴极的相互干扰。

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