SEM测试能谱eds
作者:互联网
在做扫描电子显微镜(SEM)测试时,科学指南针检测平台工作人员在与很多同学沟通中了解到,好多同学对能谱EDS不太了解,针对此,科学指南针检测平台团队组织相关同事对网上海量知识进行整理,希望可以帮助到科研圈的伙伴们;
能谱EDS的采样深度大约为1 μm,可对试样微区内Be~U范围内的元素进行分析。根据扫描方式的不同可分为点扫、线扫和面扫。点扫和线扫都是对样品的某一位置进行微区元素分析,两者区别是扫描能谱的面积大小不一。点扫可以给出扫描元素的相对含量,测试准确性较高,常用于显微结构的成分分析。面扫是对样品某一区域的元素分布进行观察。
图1对样品的某一位置进行能谱点扫得到的元素图
表1样品的相对元素含量
Element | Weight % | Atomic % | Error % |
C K | 48.96 | 54.94 | 5.15 |
N K | 27.91 | 26.85 | 19.29 |
O K | 21.35 | 17.99 | 12.55 |
AgL | 1.78 | 0.22 | 20.03 |
EDS 点分析是将电子束固定于样品中某一点上,进行定性或者定量的分析。如图1所示是能谱点扫给出的峰型图,每一种元素在图中会出现一种峰,由此可以看出样品中所含有的元素,同时,也会相对应的给出如表1所示的元素相对含量表,表中数据展示了相对质量分数和相对原子分数及误差,误差越大表示元素的相对含量可信度越低。
图2对样品进行线扫的结果图
EDS 线扫描分析是电子束沿一条线对样品进行扫描,能得到元素含量变化的线分布曲线。结合样品形貌像对照分析,能直观获得元素在不同区域的分布情况。图2可以看出,元素含量的差异与形貌结合可以分析样品结构上的差异。
图3对样品进行面扫的结果图
EDS 面扫描分析是电子束在样品表面扫描,试样表面的元素在屏幕上由亮度或彩色表现出来,常用来做定性分析。亮度越高,元素含量越高,结合形貌像常用于成分偏聚、相分布的研究中。从图1-11中可以看出元素分布的差异,结合形貌图对样品进行定性分析。
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标签:点扫,能谱,样品,EDS,元素,扫描,eds,SEM 来源: https://blog.csdn.net/Allenkx/article/details/118030925